微电子材料课题组

课题组组长:邓海教授、博士生导师、国家千人计划
课题组目标:立足于高分子,服务于微电子,服务于大规模半导体生产
课题组主要研究方向:

  • 半导体光刻用高分子材料的设计合成及应用:
  • 探索Moore’s Law的材料极限,研发10纳米及以下的光刻材料

  • 半导体光刻用分子玻璃和导向自组装(DSA)材料的设计合成及应用
  • 极性单体的精细合成:立体可控聚合、序列可控聚合
  • 聚合物分子工程国家重点实验室

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    专用集成电路与系统国家重点实验室

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    课题组新闻

    恭喜本组获得上海市科委2018“科技创新行动计划”的基金支持

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    【最新】复旦大学高分子科学系微电子材料课题组博士后、科研助理招聘信息

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    邓海教授课题组参加中国化学会2017年全国高分子学术论文报告会

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    邓海教授带领博士生李雪苗参加第34届 International Conference of Photopolymer Science and Technology会议

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